磁控溅射镀膜仪简介及收费标准

2015-11-11  点击:[]

磁控溅射镀膜仪

厂家:美国TM公司

型号:JS-20

主要性能参数:

镀膜室尺寸:φ700×700 mm

极限真空:8×10-8Pa

直流稳压电源:N5000W,四台;

直流偏压电源:N200W-200V

气路流量:0~200SCCM两路,0~10SCCM一路

靶数:3

基体背面加热温度:900

磁控溅射镀膜特点:

成膜速率高,基片温度低,膜的粘附性好,可实现大面积镀膜膜层质量好,可重复性好,便于产业化生产等优点。

应用领域:

可在金属、玻璃、陶瓷基片上镀膜,主要体现在以下几个方面:

1、制备耐磨损薄膜;

2、制备硬质膜;

3、制备超硬膜;

4、制备固体润滑膜;

5、制备光电功能薄膜。

收费标准:

院内收费

院外收费

备注

500/

1000/

特殊样品及有特殊工艺要

求,价格面议

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